BIBLIOS

  Sistema de Gestão de Referências Bibliográficas de Ciências

Modo Visitante (Login)
Need help?


Voltar

Detalhes Referência

Tipo
Artigos em Revista

Tipo de Documento
Artigo Completo

Título
Hydrogenated silicon carbon nitride films obtained by HWCVD, PA-HWCVD and PECVD techniques

Participantes na publicação
I. Ferreira (Author)
E. Fortunato (Author)
P. Vilarinho (Author)
A.S. Viana (Author)
Dep. Química e Bioquímica
CQB
CQE
A.R. Ramos (Author)
E. Alves (Author)
R. Martins (Author)

Data de Publicação
2006-06

Suporte
Journal of Non-Crystalline Solids

Identificadores da Publicação

Editora
Elsevier BV

Volume
352
Fascículo
9-20

Número de Páginas
5
Página Inicial
1361
Página Final
1366

Identificadores do Documento
DOI - https://doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2006.02.025
URL - http://dx.doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2006.02.025

Identificadores de Qualidade
SCIMAGO Q1 (2004) - 1.007 - Material Chemistry


Exportar referência

APA
I. Ferreira, E. Fortunato, P. Vilarinho, A.S. Viana, A.R. Ramos, E. Alves, R. Martins, (2006). Hydrogenated silicon carbon nitride films obtained by HWCVD, PA-HWCVD and PECVD techniques. Journal of Non-Crystalline Solids, 352, 1361-1366. http://dx.doi.org/10.1016/j.jnoncrysol.2006.02.025

IEEE
I. Ferreira, E. Fortunato, P. Vilarinho, A.S. Viana, A.R. Ramos, E. Alves, R. Martins, "Hydrogenated silicon carbon nitride films obtained by HWCVD, PA-HWCVD and PECVD techniques" in Journal of Non-Crystalline Solids, vol. 352, pp. 1361-1366, 2006. 10.1016/j.jnoncrysol.2006.02.025

BIBTEX
@article{50828, author = {I. Ferreira and E. Fortunato and P. Vilarinho and A.S. Viana and A.R. Ramos and E. Alves and R. Martins}, title = {Hydrogenated silicon carbon nitride films obtained by HWCVD, PA-HWCVD and PECVD techniques}, journal = {Journal of Non-Crystalline Solids}, year = 2006, pages = {1361-1366}, volume = 352 }