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Detalhes Referência

Tipo
Patentes


Título
Maskless Optical Interferometric Lithography

Participantes na publicação
Alexandre P. Cabral (Author)
INSTITUTO NACIONAL DE ENGENHARIA, TECNOLOGIA E INOVAÇÃO
José Manuel Rebordão (Author)
INSTITUTO NACIONAL DE ENGENHARIA, TECNOLOGIA E INOVAÇÃO

Resumo
PCT/PT03/00004; WO2004/088363 (14/10/2004)

Data de Submissão/Pedido
2013
Data de Concessão
2004

Instituição
FACULDADE DE CIÊNCIAS DA UNIVERSIDADE DE LISBOA

Identificadores da Publicação


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APA
Alexandre P. Cabral, José Manuel Rebordão, (2004). Maskless Optical Interferometric Lithography

IEEE
Alexandre P. Cabral, José Manuel Rebordão, "Maskless Optical Interferometric Lithography", 2004

BIBTEX
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