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Detalhes Referência

Tipo
Artigos em Revista

Tipo de Documento
Artigo Completo

Título
Pulsed injection metal organic chemical vapour deposition and characterisation of thin CaO films

Participantes na publicação
R.P. Borges (Author)
P. Ferreira (Author)
A. Saraiva (Author)
R. Gonçalves (Author)
M.A. Rosa (Author)
A.P. Gonçalves (Author)
R.C. da Silva (Author)
S. Magalhães (Author)
M.J.V. Lourenço (Author)
Dep. Química e Bioquímica
CQE
F.J.V. Santos (Author)
Dep. Química e Bioquímica
M. Godinho (Author)
Dep. Física
CFMC

Resumo
Thin films of CaO were grown on silicon (Si) and lanthanum aluminate (LaAlO3) substrates by pulsed injection metal-organic chemical vapour deposition in a vertical injection MOCVD system. Growth parameters were systematically varied to study their effect on film growth and quality and to determine the optimal growth conditions for this material. Film quality and growth rate were evaluated by atomic force microscopy, X-ray diffraction and Rutherford Backscattering Spectroscopy measurements. Optimised conditions allowed growing transparent, single phase films textured along the (0 0 l) direction.

Data de Publicação
2009-05

Instituição
FACULDADE DE CIÊNCIAS DA UNIVERSIDADE DE LISBOA

Suporte
Physica B: Condensed Matter

Identificadores da Publicação
ISSN - 0921-4526

Editora
Elsevier BV

Volume
404
Fascículo
8-11

Número de Páginas
5
Página Inicial
1398
Página Final
1403

Identificadores do Documento
DOI - https://doi.org/10.1016/j.physb.2008.12.031
URL - http://dx.doi.org/10.1016/j.physb.2008.12.031

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APA
R.P. Borges, P. Ferreira, A. Saraiva, R. Gonçalves, M.A. Rosa, A.P. Gonçalves, R.C. da Silva, S. Magalhães, M.J.V. Lourenço, F.J.V. Santos, M. Godinho, (2009). Pulsed injection metal organic chemical vapour deposition and characterisation of thin CaO films. Physica B: Condensed Matter, 404, 1398-1403. ISSN 0921-4526. eISSN . http://dx.doi.org/10.1016/j.physb.2008.12.031

IEEE
R.P. Borges, P. Ferreira, A. Saraiva, R. Gonçalves, M.A. Rosa, A.P. Gonçalves, R.C. da Silva, S. Magalhães, M.J.V. Lourenço, F.J.V. Santos, M. Godinho, "Pulsed injection metal organic chemical vapour deposition and characterisation of thin CaO films" in Physica B: Condensed Matter, vol. 404, pp. 1398-1403, 2009. 10.1016/j.physb.2008.12.031

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