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Detalhes Referência

Tipo
Artigos em Revista

Tipo de Documento
Artigo Completo

Título
Maskless Interferometric Lithography based on Digital Micromirror Devices

Participantes na publicação
A. P. Cabral (Author)
LOLS
J. M. Rebordão (Author)
LOLS

Data de Publicação
2003

Suporte
OPTICAL ENGINEERING

Identificadores da Publicação
ISSN - 0091-3286


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APA
A. P. Cabral, J. M. Rebordão, (2003). Maskless Interferometric Lithography based on Digital Micromirror Devices. OPTICAL ENGINEERING, ISSN 0091-3286. eISSN .

IEEE
A. P. Cabral, J. M. Rebordão, "Maskless Interferometric Lithography based on Digital Micromirror Devices" in OPTICAL ENGINEERING, 2003.

BIBTEX
@article{21, author = {A. P. Cabral and J. M. Rebordão}, title = {Maskless Interferometric Lithography based on Digital Micromirror Devices}, journal = {OPTICAL ENGINEERING}, year = 2003, }